半導体

この記事は、「 今と未来がわかる半導体 ビジュアル図鑑」　ずーぼ／著 — ナツメ社　を参考にさせてもらっています。

半導体とは?

　半導体とは、大きく分けて2種類の意味で使用されています。1つ目は、トランジスタやICなどの「半導体デバイス」として、2つ目は、その「半導体デバイス」の原料となる「物質としての半導体」です。

　ここでは、「物理的な半導体」の意味を説明していきます。

導体: 電気を通す物質です。
絶縁体: 電気を通さない物質です。
半導体:「導体」と「絶縁体」の中間の物質です。

　それぞれの電気抵抗率を下図の示します。「電気抵抗率」については、こちらの記事を参照して下さい。

半導体物質の結晶構造

　「半導体デバイス」を作る際には、単結晶シリコンが使われます。「単結晶」とは、その物質を構成する原子が規則的にならんで構成されている物質のことを言います。

　「半導体デバイス」にはあまり使われませんが、「多結晶」と言われる物質形態も存在します。「多結晶」とは、小さな「単結晶」物質がランダムに結合した物質のことを指します。

洗浄

　「半導体デバイス」は製造の過程で何度も洗浄を行います。「半導体デバイス」は製造の過程で、様々な物質がシリコンウエハーの表面に付着するので、各製造工程が終わるたびにシリコンウエハーを洗浄します。

　もっとも、標準的な洗浄方法は、アメリカのRCA社が開発した「RCA洗浄」です。下の図に、RCA洗浄の手順を示します。