テクノロジー・ノード

　最近、半導体関連のニュースを聞くことがあります。その中で、配線幅何nmという言葉がよく出てきます。その配線幅について、記事を書いてみようと思います。

テクノロジー・ノード(デザイン・ルール)

　この配線幅とは、「テクノロジー・ノード」とも「デザイン・ルール」とも呼ばれています。「テクノロジー・ノード」は「DRAM/MPU」と「NANDフラッシュメモリ」で定義がことなっているのですが、ここでは「DRAM/MPU」の例で説明していきたいと思います。

端的にいうと、図中のmetal-1と赤字で書いてある部分の配線幅になります。

　これは、ITRS()

現在のテクノロジー・ノード