この記事は、「 トコトンやさしい真空技術の本 関口 敦 編著 日刊工業新聞社」を参考にさせて頂いています。
真空の定義
真空は日本工業規格(JIS)によって次のように定義されています。
「通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間の状態」
「ゲージ圧」 vs 「絶対圧」
真空の種類
真空の種類は日本工業規格(JIS)によって4種類に分類定義されています。それを下記に示します。実務では、未だにTorrを使用されている現場もあるようですので、赤字でTorr表示を付け加えておきます。
低真空:圧力100kPa~100Pa(760Torr~0.75Torr)の真空
中真空:圧力100Pa~0.1Pa(0.75Torr~0.75mTorr)の真空
高真空:0.1Pa~10uPa(0.75mTorr~0.075uTorr)の真空
超高真空:圧力10uPa(0.075uTorr)以下の真空
極高真空(参考):圧力1nPa(0.75pTorr)以下の真空
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