「真空」とは

Engineering

この記事は、「 トコトンやさしい真空技術の本 関口 敦 編著 日刊工業新聞社」を参考にさせて頂いています。

真空の定義

真空は日本工業規格(JIS)によって次のように定義されています。

「通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間の状態」

「ゲージ圧」 vs 「絶対圧」

真空の種類

 真空の種類は日本工業規格(JIS)によって4種類に分類定義されています。それを下記に示します。実務では、未だにTorrを使用されている現場もあるようですので、赤字でTorr表示を付け加えておきます。

低真空:圧力100kPa~100Pa(760Torr~0.75Torr)の真空

中真空:圧力100Pa~0.1Pa(0.75Torr~0.75mTorr)の真空

高真空:0.1Pa~10uPa(0.75mTorr0.075uTorr)の真空

超高真空:圧力10uPa(0.075uTorr)以下の真空

極高真空(参考):圧力1nPa(0.75pTorr)以下の真空 

コメント

タイトルとURLをコピーしました