「分析手法」

　分析手法については、「分析化学」の記事でも書いていますが、その中でも説明できなかったものについて書いていきたいと思います。

物理分析の仕組み

　物理分析とは、測定対象に刺激(イオンビーム・光・電子線など)を与えて測定試料で物理現象を起こし、その結果放出される信号(二次イオン・光・電子)などを検出・解析することによって、測定試料に関する情報を取得することです。

入射ビームは物理現象が起こる領域(広さ・深さ)を決める要因となります。

　着目している領域が数um以下であれば電子線が必要となり当店バルク材料の広い領域の平均情報であればエックス線が適しています。

検出粒子は物理現象によって得られる情報と検出深さを決める要因となります。

例えば入社ビームに同じエックス線を用いた場合でも、光電子を検出するXPSの場合は試料最表面の元素組成と結合状態が得られ、特性X線を検出するxrfの場合はX線が透過する数ミクロンの領域での元素組成情報が得られます。

　代表的な分析手法で、入射ビームと検出粒子の関係を模式図で示します。黄色い領域が入射ビーム、赤い領域が粒子を検出して情報が得られる領域となります。

　SEMとSEM-EDXを比較すると両者ともに電子線を照射していますが、画像のSEMが試料最表面からの情報で構成される一方で、特性X線を検出するEDX-EPMAでは深さ数umの領域の情報で構成されており、画像と元素情報との解釈については注意が必要です。